(取自Intel臉書粉專)
2024年IEEE國際電子器件會議上,英特爾旗下晶片代工業務部門對外展示了多項技術突破,在新材料方面,公司展示了減材釕互連技術(subtractive Ruthenium),最高可將線間電容降低25%,有助於改善晶片內互連。
封裝工藝上,英特爾代工還公布了一種用於先進封裝的異構集成解決方案,能將吞吐量提升高達100倍,實現超快速的晶片間封裝(chip-to-chip assembly)。
此外,為進一步推動環繞式閘極結構(GAA)微縮,英特爾還推出了矽基RibbionFET CMOS (互補金屬氧化物半導體)技術、用於微縮的2D場效應電晶體(2D FETs)的柵氧化層(gate oxide)模塊等。
本文為界面新聞授權刊登,原文標題為「英特爾代工部門展示互連微縮技術突破性進展」